半導体真空ポンプ

クリーンルーム製造の心臓部、半導体真空ポンプ-マイクロエレクトロニクス製造の非常に厳しい要件を満たすように精密に設計されています。これらのポンプは、完全にクリーンで安定した振動のない真空環境を提供するように設計されています。-これは、微細な汚染でさえ重大な製品故障につながる可能性があるプロセスにとって極めて重要です。製品オイルフリーで耐腐食性のある-設計が広く採用されており、多くの場合、攻撃的なプロセス ガスに耐えられる特殊な材料が使用されています。これらは、調整可能な流量で必要な高真空レベル (通常は 0.001 パスカルまで) を達成し、繊細なナノ構造への損傷を防ぐために非常に低い振動プロファイルを示すように設計されています。

同社のモジュラー設計哲学により、複雑なツール セットへの直接的な統合が可能になり、コストのかかるツールのダウンタイムを最小限に抑えるために重要なメンテナンスが容易になります。主な用途は、半導体真空ポンプ名前が示すとおり、半導体業界では、エッチングや堆積からイオン注入やリソグラフィーに至るまで、チップ製造のほぼすべてのステップで使用されます。また、電子パッケージングや太陽電池製造などの関連分野でも不可欠です。これらのポンプは、エレクトロニクス以外にも、高-純度半導体-グレードの材料を処理するためのゴムやプラスチックの機械に使用されています。食品包装では、繊細な電子部品用の特殊な包装の開発に役立ちます。専用の真空コーティングシステム内で、製品究極の純度と信頼性が要求される半導体グレードのコーティング プロセスを実行するには不可欠です。{0}プロセスの成功が、完璧で揺るぎない真空に依存している場合、半導体真空ポンプは決定的で信頼できるソリューションです。

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